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博观而约取,厚积而薄发——中国电子化学品

发布时间: 2021-05-21 13:19:47   试剂信息网

电子化学品是指为电子工业配套的精细化工产品,是电子工业重要的支撑材料之一。我国电子化学品市场起步较晚,2014年制定的《国家集成电路产业发展推进纲要》,2015制定的《中国制造2025》将集成电路的发展上升为国家战略,20208月,国务院印发《新时期促进集成电路产业和软件产业高质量发展的若干政策》,在国家政策支持、需求端快速拉动和电子化学品本地化采购趋势的影响之下,2018年,国内电子化学品行业实现市场规模3288亿元,较上年显著增加。未来我国电子化学品市场仍将持续增长,在此期间的国产化率也将稳步攀升。

我国按照用途通常分为光刻胶、电子封装材料、高纯超净试剂、特种气体、印刷线路板材料及配套化学品、液晶及配套材料、其他电子化学品7个大类。目前,国内电子化学品涉及品种近2万种,其中,半导体涉及的化学品主要有5大类:光刻胶、电子气体、湿化学品、抛光液/抛光垫和金属靶材,绝大部分市场份额为美日企业所垄断。国内新材料企业结合各自优势以重点单品为主攻,行业内错位竞争,呈现出百花齐放的局面。

 

 

光刻胶

 

光刻胶,又称光致抗蚀剂,是微电子领域微细图形加工核心上游材料,电子化学品的高端材料之一。光刻胶品种多样分为紫外全谱(300450 nm)、g线(436 nm)、i线(365 nm)、KrF248 nm)、ArF193 nm)、EUV13.5 nm)、电子束,在半导体领域应用很广。

光刻胶存在极高的技术壁垒和市场壁垒,国产化率极低。半导体领域整体国产化率约为10%,其中,g线、i线、KrF光刻胶约10%ArF光刻胶全部进口。平板显示领域整体国产化率约10%,其中,触摸屏光刻胶约35%,彩色和黑色光刻胶、TFT光刻胶几乎全部进口。

目前低端PCB光刻胶国产替代最快,高端半导体光刻胶处于方兴未艾的阶段,上海新阳KrF厚膜、ArF干法光刻胶研发到达中试阶段,晶瑞股份完成KrF248 nm深紫外)光刻胶中试,南大光电研制的ArF(193 nm)光刻胶样品处于客户测试阶段。

 

电子特种气体

 

电子气体作为集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产中不可缺少的基础和支撑性材料之一,被广泛应用于薄膜、蚀刻、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。随着集成电路制造技术的快速发展,芯片尺寸不断增大,工艺不断提高,特征尺寸线宽不断减小,要求IC制程用的各种电子气体纯度、特定技术指标不断提高,对关键杂质的要求更为苛刻。

2020年,中国电子气体市场规模约为176.6亿元,进口替代趋势明显,逐步向高端演进,预计未来3年增速超过14%

电子气体以纯度为核心指标,国内企业普遍做到5-6N,林德和法液空等海外领先企业技术可达6-9N。国内以华特气体、金宏气体和七一八所(非上市)为首,华特已具备清洗气、刻蚀气和掺杂气等技术,目前仍在继续扩大产能。

 

湿电子化学品

 

湿电子化学品,又称超净高纯试剂,要求超净和高纯,为湿法工艺(包括湿法刻蚀、清洗)制备过程中使用的各种液体化工材料,主要应用在半导体、平板显示、太阳能光伏领域等微电子、光电子器件制造领域。湿电子化学品存在较高的技术壁垒和市场壁垒。国际上G1G4级湿电子化学品的技术已趋于成熟,国内企业大都能够达到G2级,少数企业达到G3G4级。

国内企业中,晶瑞股份超高纯净双氧水和超纯氨水已达G5标准,其他产品均达到G3G4标准。上海新阳市的超纯电镀液及添加剂实现在9028 nm制备过程中的应用。江微化IPO项目落地后将具备G4/G5级产品生产能力。

2019年我国湿电子化学品市场规模约达94.17亿元,同比增长7.15%2020年我国湿电子化学品市场规模达到100.62亿元左右,同比增长6.85%

 

 

CMP抛光材料

 

CMP抛光材料是应用于CMP工艺中的抛光材料,而CMP工艺是在半导体工业中使器件在各阶段实现全局平坦化的关键步骤。其原理是在一定压力和抛光液环境下,被抛光工件相对于抛光垫作相对运动,通过抛光液中固体粒子的研磨作用和氧化剂的腐蚀作用,使工件形成平坦光洁的表面。

CMP抛光材料市场占半导体材料7%CMP是实现晶圆表面平坦化的关键工艺,核心材料主要为抛光液和抛光垫。全球抛光液和抛光垫市场被美、日企业垄断,国内抛光垫主要厂商为鼎龙股份,抛光液龙头安集科技国内市场占比22%

 

金属靶材

 

半导体靶材的核心技术主要包括:(1)金属提纯技术,纯度要求做到99.999%(2)金属微观结构控制技术;(3)异种金属高端焊机技术;(4)精密加工、清洗和加工技术。中国生产半导体用的溅射靶材之前一直依赖进口,JX/NikkoPraxairHoneywellTosoh等,4家公司市场占有率超过80%。江丰电子在半导体靶材领域的突破以及全球占有率的快速提升,标志着大陆半导体关键材料的重大突破,我们判断半导体核心材料领域将不断涌现出大陆企业的身影,未来23年将出现更多的半导体材料领域的投资机会。

 

行业发展趋势

 

“十三五”以来,我国已初步建立起一批具有自主创新能力、具备国际竞争力的电子化学品公司,“十四五”期间,国内电子化学品产品结构将逐渐从中低端产品为主向高端化学品市场突破,电子化学品行业将迎来更为广阔的发展空间。

 

来源:中国化工信息周刊、华创能源化工、中国化信咨询、网络综合等

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