1 月 30 日赛默飞集成电路材料应用实验室在广州正式落成开幕。

随着国内集成电路行业的高速发展，集成电路材料作为产业链中细分领域最重要的一环，对集成 电路制造业安全可靠发展以及持续技术创新起到至关重要的支撑作用。为确保芯片良率和性能，与集 成电路制程工艺紧密相关的超纯水、环境空气、晶圆基材、晶圆制程和表面清洗化学品、溅射靶材、 电子气体和封装基板电镀液等材料中的杂质控制要求日趋严格。同时技术壁垒也使得集成电路制造设 备和材料国产替代势在必行，性能提升需要先进制程支撑，激发了材料技术的底层创新和研发的大规 模投入。赛默飞可为集成电路材料应用提供全面有效的方案支持，除具备多种分析晶圆物性结构的高 端电子显微镜、AMC 在线采集与检测仪、分析材料成份表征和质量控制的色谱质谱等赛默飞全产线 最先进的分析仪器设备外，还可提供稳定可靠的检测方法，与国际先进集成电路制程水平相配套，助 力材料研发创新，服务于国内集成电路产业发展。

来源：赛默飞中国